镀膜种类划分情况

镀膜按类型划分，首先可以分为：干式镀膜和湿式镀膜两种。

其中干式镀膜主要有：真空蒸发镀膜、溅射镀膜、真空离子镀膜

3

种

真空蒸发镀膜可细分为：

电阻蒸发镀膜（适用于蒸发低熔点材料，如金、银、硫化锌、氟化镁、三氧化二铬等）

电子束蒸发镀膜（可蒸发难熔金属，如钼、钨、锗、二氧化硅、氧化铝等）

高频感应加热蒸发镀膜（蒸发速率达，蒸发源温度稳定，

操作简单，对材料纯度要求较

宽。

）

电弧加热蒸发镀膜（特别适用于熔点高，

同时具有一定导电性的材料，

如石墨；装置简

单，较廉价，缺点是放电产生的微米级颗粒会影响膜的一致性）

激光束蒸发镀膜（可蒸发任何高熔点材料）

反应蒸发镀膜（蒸镀难熔化合物，如氟化镁、氧化钡、氧化锡等）

溅射镀膜可分为：

直流二极溅射：仅适用于导电膜

直流三极溅射：仅适用于导电膜

直流四极溅射：仅适用于导电膜

射频溅射：采用射频电源，可镀氧化硅，氧化铝材料

对向靶溅射：可提高沉积速率，制取磁性铁、镍和其他磁性合金膜

离子束（

IBS

）溅射：利用离子源发出离子

磁控溅射：

碳硫分析仪在直流二极溅射的基础上，

在靶材后面安放了磁钢，

使用弧光发

电，用于蒸发源。

真空离子镀膜可分为：

阴极电弧离子镀：

提高了沉积速率和膜的质量；

还可生成致密均匀，

附着力优良的化合

物膜

空心阴极离子镀：使用空心阴极等离子电子束

多弧离子镀

湿式镀膜可分四种：

电镀

阳极氧化

化学镀

化学转化膜处理