电子枪是电子束镀膜机设备的核心部件，其作用是加热薄膜材料和被加工零件。电子枪主要由支架、灯丝、聚焦系统和偏转线圈四部分组成。电子枪的灯丝是阴极，机械加工部分是阳极。阳极接地。

　　电子束镀膜机工作时，需要先预热灯丝。灯丝预热电流60-90A，预热时间20分钟以上。灯丝加热后，灯丝(阴极)中电子的势能增加，为发射电子做好准备。这时，当20KV]JI~ (2)的电压接通时，灯丝(阴极)在电场的作用下开始发射电子。在聚焦系统、偏转线圈和加速电压的共同作用下，灯丝(阴极)发射的电子聚集成束，以极高的速度向待加工的膜材料或零件发射。

　　薄膜和加工零件的表面温度与电子束强度成正比。电子束的强度可以通过控制灯丝的电流来控制，从而控制薄膜材料和加工零件的表面温度。

　　电子束镀膜机的离子清洗装置

　　电子束镀膜机设备采用考夫曼离子源，电场和电压为1.5KV，灯丝为阴极，机械部分为阳极，阳极接地。工作原理是将氩气注入电离室，气体氩原子通过电弧放电电离成等离子体。在相对于等离子体具有正电势的电极的作用下，负离子束从等离子体中被引出。在电场的作用下，能量为0.5-5 kev的氩负离子从阴极向阳极运动，高速轰击加工零件表面。氩气离子的直径只有十分之几纳米。被加工件表面受到离子束轰击后，由于氩离子的动能使被加工件表面原子间的结合力变干，被冲击的被加工件表面的原子被溅射出来。达到去除加工件表面污染物的目的，即对加工件进行离子清洗。

　　薄膜材料的进给机构和被加工零件的进给旋转结构也是电子束镀膜机设备不可缺少的部件，因为这两个机构的工作原理和主要部件与数控机床甚至一般机床基本相同。