真空镀膜机是指需要在各种高真空状态下进行的涂层，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积组成。

真空镀膜机也是目前制造真空条件最广泛使用的真空设备，一般由真空室、真空机、电控盒三部分组成，排气系统由“扩散泵、泵、罗茨泵、低温冷却、多孔”组成。下面，小编会详细介绍真空镀膜机原理及各部分组成分析。

一、真空本体——真空钢根据加工产品要求，真空钢的大小也不同。目前适用最多的是直径1.3米、0.9米、1.5米、1.8米等。

用不锈钢材料制作，要求生锈、坚固等，真空钢各部分有连接阀，用于连接各泵炮。

辅助进气系统：排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵和油扩散泵三部分组成。

机械泵：机械泵也称为全级泵，是使用最广泛的低真空泵，通过用油保持密封效果和依靠机器的方法，不断改变泵内吸入孔的体积，使吸入容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空。

机械泵的分类：机械泵有很多种，有四种常用的滑阀(主要适用于大型设备)、活塞往复式、拼版和旋转芯片(目前使用最广泛）。

然而，真空镀膜机的真空泵使用中经常会出现的一些问题。因此，真空镀膜机真空泵维修专家总结了以下真空镀膜机真空泵的日常维护和保养方法。

1.检查旋转真空装置的管道和接头是否松动。用手转动真空泵，看看是否灵活。

2.向轴承体中加入轴承润滑油，观察油位应在油位标准的中心线。因此，应经常检查油位位置，如不符合规定，应调整至符合要求。润滑油应及时更换或补充。

3.正常情况下，不锈钢泵工作2000小时后需要大幅度修理，检查橡胶密封件的老化度，确认排气阀有裂纹，清除阀门板和排气阀座上堆积的污垢。

4.关闭出水管道闸阀、出口压力计和进口真空计。

5.拧开真空泵体的引水塞，倒入引水或泥浆。