对于真空镀膜机设备而言，真空泵是获得真空环境不可缺少的一部分，制造商每次制造真空镀膜设备时都会搭配一个或多个真空泵。

真空镀膜机在选择如何选择真空泵时，应注意以下事项：

    1.真空泵的工作压力必须满足真空设备的极限真空和工作压力要求。

    2.正确地选择真空泵的工作压力。每种泵都有一定的工作压强范围,

    3.真空泵在工作压力下，应能排出真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

    4.真空泵的正确组合有选择性吸入，所以有时选择一种泵也不能满足进气要求，必须与几种泵结合，互相补充，才能满足进气要求。钛升华泵对氢气有很高的提取速度，但不能提取氦，三极型溅射离子泵对氩有一定的提取速度，将这两者结合起来，真空装置可以获得更好的真空度。另外，一些真空泵在大气压力下不能正常工作，需要预真空3360的真空泵出口压力低于大气压力，需要全面泵，因此需要同时使用泵。

    5.真空镀膜机对油污染的要求。设备严格要求无油时，应选择3360干泵、分子筛吸附泵、离子泵低温泵等各种无泵。如果要求不严格，可以选择油泵，还可以添加防止油污染的措施，如冷纸、挡板、堵油等，还可以满足清洁真空要求。

    6.了解萃取气体成分，气体不含可凝固蒸汽、颗粒灰尘、腐蚀性等。选择真空泵时，要知道气体成分，选择适合提取的气体的泵如果气体中含有蒸汽、粒子和腐蚀性气体，则应考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、吸尘器等

    7.真空泵排放的油蒸汽对环境的影响如果环境不允许污染，可以选择无油真空泵或将油蒸汽排放到室外。

　 8.真空泵运行时产生的振动对工艺过程和环境没有影响。如果过程不允许，则应选择没有振动的泵或采取防止振动的措施。

　 9.真空泵的价格、操作及维修费用也是我们考虑的重点之一。能够选择适合自己真空镀膜机的生产需求的真空泵是最明智的选择，希望通过上面的共享帮助大家选择合适的真空泵。