在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。对于专业的镀膜工程师来说，对真空镀膜设备自然是非常了解。但是对于刚入行的新人，对真空镀膜机了解尚欠，并且很多知识点，有可能都没有听说过，下面由东莞真空镀膜设备厂家来说一下关于真空镀膜设备的原理及结构！

东莞真空镀膜设备厂家了解到，真空镀膜设备有关构成及各部件：机械泵、增压泵、油分散泵、冷凝泵、真空丈量系统。真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 

东莞真空镀膜设备真空腔根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有链接阀，用来链接各抽气泵浦。机械泵先将真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后续抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，已这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空，东莞真空镀膜设备。