光学镀膜机主要由真空镀膜机房、真空泵机组和电气柜(控制电气柜和电子枪电气柜)组成，广泛应用于微电子、光学成膜、土木装饰、表面工程等领域，光学镀膜设备在防止油污和缩短工作周期方面具有优异的性能。

光学镀膜设备的工作原理：利用电子束在高真空状态下将金属或非金属材料加热到合适的温度，材料加热后蒸发成蒸汽分子。其平均自由程大于从蒸发源到蒸发衬底的距离，蒸发的蒸汽分子被导向各处并沉积在衬底表面上形成薄膜。

光学镀膜设备的维护主要包括光路的检修和维护、电子枪的安装和维护、设备的清洗和维护。

一、电子枪蒸发源控制系统的维护和安装：电子枪蒸发源控制系统是由电子枪高压电源、扫描电源、灯丝电源、坩埚驱动电源和蒸发源组成的电子枪控制柜。电子枪控制的电子柜内有高压。工作前，必须确保柜门的所有联锁装置正常工作。非专业人士不允许打开柜门。电子枪工作时，禁止打开柜门。整个机柜必须接地良好，并与机器接地连接。

二、光路的维护和检查：光路调整的前提是保证调制光源头、DC稳定电源、光纤、光电转换放大器、光栅单色仪、光学薄膜测厚仪和专用电缆的正确接入和完整性。特别是光学薄膜测厚仪和光电转换放大器的接地点必须分别归属于主机触点并牢固接地。

三、光学镀膜设备的清洗：设备使用一周后，涂层材料不仅涂在工件表面，而且由于不定向，还涂在工作室的衬板上，涂层厚度越来越厚。这一层的膜厚由于组织和缠绕而松散，吸收了大量气体，导致真空镀膜设备泵送越来越慢，所以这个时候工作室和衬板都要清理干净。如果不必要地拆下零件，可以用砂纸打磨。

四、光学镀膜设备维护：1、定期更换扩散泵油，使用一段时间，两个月左右。在长期的高温环境下，扩散泵虽然在高真空下启动，但氧气等成分仍然残留与扩散泵油反应，扩散泵油在高温下可能会开裂，使其质量下降，泵送时间延长。当我们觉得时间延长太多的时候，就应该更换。2、机械泵油和真空泵维修泵油使用两个月后，油质会发生变化。由于油可能吸入水分、杂质等原因，使用过的油粘度变差，真空度下降，需要更换。如果是新设备，应该在使用的前半个月更换，因为在磨合期，油中含有较多的磨合期铁粉，会加重磨损。3、清洁卫生定期保持设备及其周围环境的清洁，组织设备周围环境，确保安全。